検査装置
出来上がった製品の評価は検査でチェックします。しかし、検査は人に頼る要素が多く、自動化、省力化は比較的遅れている分野となっております。
ＫＥＧでは、そうしたユーザーの要望に応える様々の分野で努力しています。
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| 型式： ＬＳ-1200 ラッピングウエハー外観検査装置 |
■特徴 ｜カタログ｜ |
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ラッピングウエハー表面状態を水中及び湿式にて検証し、鮮明にモニター上に表示する目視検査装置。（エッチング前のラッピング面の欠陥を検査することにより、ラッピング工程での定盤及び研磨剤の管理に有効） |
| 型式： ＫＣＴ-０１ 輪郭形状測定システム |
■特徴 ｜カタログ｜ |
輪郭データをグラフ表示、寸法計測・別形式での
データ出力を備えた輪郭形状測定システム。
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高精度の走査型レーザーの測長域内で測定物を連続的に移動させ１ミクロン単位毎の寸法データをリアルタイムに収集し、モニターに表示された輪郭形状から寸法測定します。ペットボトルの外径ネジ部、外径の狭く深い溝、Ｒ形状等接触子が追随できない製品等の測定に適しています。
| ■輪郭寸法計測機能 |
| ■別形式でのデータ出力機能 |
| ■測定条件保存機能 |
| ■多彩なデータ整形機能搭載 |
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| 型式： ＰＢＶ−０２ ボトル水容積測定装置 |
■特徴 ｜カタログ｜ |
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ＰＥＴボトルやガラス瓶などの様々な容器の容積を水密度算出方式により測定する装置です。
ローダー・アンローダー付の全自動タイプもあります。 |
| ＰＥＴボトルバースト（耐圧）検査装置 |
■特徴 ｜カタログ｜ |
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装置破裂室にセットされたＰＥＴボトルに水を注入し、加圧しながら耐圧性能をリアルタイムにデータを収集します。
測定データはＣＳＶ形式で保存できます。
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| 型式： KＤＸ−９８０ 平面基板外観目視検査装置 |
■特徴 ｜カタログ｜ |
光学倍率1000倍以上(視野0.1mm角)しか観察できない
微細欠陥を驚異的な低倍率(視野15mm角)で
認識が可能。
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・殊照明群と光学系の組合せで常識をはるかに超える表示分解性能を実現。
・ハードディスクの場合、ポリシング＆テクスチャリング付きを問わず結晶化透明・膜付ガラスディスク、アルミディスクのあらゆる表面欠陥部表示可能。
・テクスチャーを検出せずサブミクロンオーダーの欠陥を検出可能。
・検査対象サイズはハードディスクの場合、3.5インチ／3インチ／2.5インチ、その他の製品サイズのものはワークセット治具製作により対応可能。
・検出可能欠陥は微細スクラッチ・ピット・TXキズ・汚れ凹み・異物等。
・表示モニターでは欠陥部のみが表示される為、目視でも瞬間的に認識ができる。
・高倍率微分干渉顕微鏡では得られない広大な視野エリアでの欠陥観察ができる。
・精細画像をさらに強調変換させるMICRO-Vユニットを標準搭載。
・手動ステージによる手軽な操作性とフレキシブルな設定が可能。
・コンパクト設計による省スペース化、ローコスト&ハイパフォーマンス。
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